日月光中水厂中设有多道机制来记录和追踪每一层过滤和处理过程，中水厂甚至设立了一个专人即时监控的中控室，所有数据最后会集中到厂房三楼的中控室进行管理和监控。管理人员可以即时从萤幕上查看并分析这些数据，确保水资源的高效利用，一旦回收系统出现状况，也能第一时间介入处理，避免影响到后续的制程。（图片来源／日月光）
「一滴水可用4.18次。」这是日月光水资源管理去年的新进展。
日月光的一滴水旅程，从自来水进厂区开始，经过制程使用，再经中水回收厂回收后再运用，整个过程每滴水可重复循环使用4.18次后才放流，离开工厂。这个数字显示出日月光在水资源运用高效率，背后的关键是IT的运用。
水在半导体制程中非常重要，不论是在切割和研磨制程中，都需要大量的纯水，进行清洗和冷却，日月光工厂每天所需的水量非常庞大，因此，如何节水和改善水质，来减少废水排放、降低环境冲击，是日月光在水资源永续发展中的重要目标。
自2018年起，日月光将数位科技融入永续转型，也应用于水资源管理，透过这些措施提升用水效率，降低水资源的耗用，达到更高效的水资源管理。
在废水回收再利用方面，除了各厂自行循环用水之外，日月光还透过一座大型中水回收厂，将制程废水进一步净化过滤，再回送产线使用。这座废水回收厂中结合了许多数位科技、AI技术，持续提升其回水再利用效率。从这座中水厂能一窥日月光运用IT提高中水回收效率的做法。
半导体制成所用的纯水，水质纯净度得达到4个9，才能避免杂质影响到制程。所以，水厂中的每一滴水，皆需经过多道过滤机制，包括多层过滤系统（MMF），超滤膜系统（UF），以及逆渗透系统(RO)等，才能将净化后的回收水再利用于制程中。
流程上，当制程废水进入回收厂后，首先经过底层的生物池降解，再进到上一层的MMF，去除水中的颗粒物质，接著经由UF进一步滤除细小颗粒及胶态物质，最后进到RO除去剩余颗粒杂质。经过层层过滤处理后，水质才可达到几乎99.99%的纯净度，最后再回送至产线制程使用。这些关键设施的处理效率，都会直接影响最后计算出来的每滴水再利用次数。
为了提高回收利用率，日月光中水厂中设有多道机制来记录和追踪每一层过滤和处理过程，中水厂甚至设立了一个专人即时监控的中控室，所有数据最后会集中到厂房三楼的中控室进行管理和监控。管理人员可即时从萤幕上查看并分析这些数据，确保水资源的高效利用，一旦回收系统出状况，也能第一时间介入处理，避免影响到后续的制程。
搭配控制中心，日月光有一套监控及资料撷取系统，全程监控废水处理过程中的各项指数，同时搭配排水监测系统，持续监控放流水的品质。
日月光的一滴水旅程，从自来水进厂区开始，经过制程使用，再经中水回收厂回收后再运用，整个过程每滴水可重复循环使用4.18次后才放流，中水回收厂回收率可达75％，等于厂区每送出1,000吨制程废水，经日月光中水回收厂处理后平均可释出750吨中水再运用。图片来源／日月光
监控用水数据确保水质与跨厂调度
除了监控废水处理状况外，日月光中水回收厂兼具有调度中心功能，可以随时掌握各厂的水使用状况，以便在水情吃紧时，可以透过厂内水网络支援。
日月光过去已有建立一套水资源管理e化平台，可搭配用水/ 回收水资料库、各厂区水平衡图等资料，监看每日水情资讯。
去年，日月光导入一套水情灯号预警系统，不仅能够监控外部水源供应资讯，还能即时掌握每栋工厂的用水及蓄水量资讯，强化供水调配支援能力，此外，还结合行动化应用，一旦发生停水和水情异动，相关人员可透过手机查看，以便迅速应对处理。
值得一提的是，在这套系统中，日月光还建立厂区缺水韧性机制，利用AI模型分析工厂每天的用水量和现有储水量，推估每间工厂的水存量可使用时间，以便提前调度水网进行支援。这些措施让日月光可以智慧化地管理水资源风险，应对气候异常带来的水资源不足的挑战。
日月光去年导入一套水情灯号预警系统，不仅能够监控外部水源供应资讯，还能即时掌握每栋工厂的用水及蓄水量资讯，包括中水回收的数据，强化供水调配支援能力，此外，还结合行动化应用，一旦发生停水和水情异动，相关人员可透过手机查看，以便迅速应对处理。图片来源／日月光
结合AI提高回水厂回水利用和管理效率
随著日月光永续计划开始引进AI，这几年，日月光也用AI来提高回水厂水资源利用和管理效率。像是用来辅助回收厂设备的维修，如决定何时替UF设备清洗，这类作业过去往往需要现场检查，以确认是否存在堵塞情况，若是没有即时清洗，就会影响流速，一段时间后，也会导致出现UF设备堵塞情况，而影响回水再利用效率。
可是，在中水厂厂内很多套UF设备，人员常常需要花很多时间逐一检查，也较缺乏效率。为了改善这个问题，他们开始结合数据分析与数位图表工具，将水压力变化等资讯视觉化，协助人员可以更容易地掌握每天这些数据的趋势变化，了解各设备的堵塞情况，而不需要到现场查看，也减轻人员负担，甚至他们也开始用AI辅助进行预警，透过这样的方式，来预防堵塞，提升回水再利用效率。不过，即使借助AI判断，最后也都会由人工确认才会展开行动。
不只设备维修，在回收流程中也用AI来优化。例如在废水处理上，日月光自行开发了一款AI废水智能化加药控制模组，掌握废水厂水质状况，并且可预测放流水水质，提前预警水质异常，缩短异常应变反应时间。导入 AI 模组后，日月光表示，废水系统加药量降低30%，污泥也减量35%。
又如日月光厂区会用离子交换树脂（2B3T）来吸附流水中的离子，提升中水的纯净度，后来，日月光也用AI模型计算2B3T再生时间，取代传统人工定时操作，不只减少人为失误风险，也达到最佳产水能力，他们评估，每年可减少工厂自来水使用水量560万吨。
这座中水厂全天运作，控制中心采24小时，两班制轮班，为提升作业便利性，在中水厂中导入了行动平板，便于人员巡视可以记录与查看设施运作状况。
日月光持续扩充中水厂的硬体设施与优化系统，目前每日可以处理多达3万吨的水，都是靠数位科技和AI来提高回收效率。从2015年启用，统计至2023年3月，累计已回收的生产用水达3千万吨，相当于省下高雄市民约一个半月的用水量。
光是在2023年，这座中水回收厂一年就提供了日月光高雄厂，约561万吨的回收水，回收率达75%。